近日，吉林省巨程智造光电技术有限公司（以下简称巨程智造）通过自主创新，在氟化钙（CaF₂）晶体超精密加工上突破技术壁垒，成功解决一道世界级加工难题，实现全频段亚纳米精度的稳定加工。
“在高端光学制造领域，材料的加工精度直接决定着尖端装备的性能边界。”巨程智造公司董事长杨东来说。
据介绍，氟化钙晶体因其独特的透光特性和低非线性效应，成为半导体晶圆检测、深紫外光刻、高端显微等系统中不可或缺的光学材料。然而，由于这种材料质地柔软、易潮解、加工易产生损伤等特性，使其高精度、高表面质量的加工成为世界级难题。
为攻克这一“拦路虎”，从2024年3月开始，巨程智造组织研发团队进行技术攻关，历时216天，凭借深厚的工艺积累与自主创新精神，终于攻克了这道世界级难题。产品经过全工序打磨与检测中心严格认证，其面型精度、局部光洁度等关键性能数据都呈现了卓越水准。这款透镜不仅实现了纳米级的面型控制，更在关键通光区域内达到了极高的洁净度标准，确保其在复杂光学系统中能够传输无失真、无杂散光的高质量波段，为检测设备的分辨率和信噪比提供核心保障。
“这次技术突破与新产品的成功研发，意味着国内半导体设备厂商在核心光学元件的供应链上拥有了一个技术领先、质量可靠、响应迅速的顶级选择，未来，我们将持续聚焦超精密光学技术的创新与迭代，致力于成为全球高端装备制造商最值得信赖的合作伙伴。”杨东来说。（工人日报客户端记者 柳姗姗 彭冰 通讯员 王钰焯）
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